分辨率测试卡尺寸涨缩原因分析

1、温度的影响

在相对湿度下,光绘分辨率测试卡的尺寸随着温度的上升而涨大,温度下降而缩小,其热涨变形系数在18ppm/℃左右,也就是说当温度发生1℃的变化时,50cm长的分辨率测试卡会发生9um的变化(或20寸中的0.36mil).

2、湿度的影响

在相对温度下,分辨率测试卡的尺寸随着湿度的上升而涨大,相对湿度的降低而缩小,湿涨变形系数在10ppm/%RH右,也就是说当湿度度发生 1℃的变化时,50cm长的分辨率测试卡会发生5um的变化(或20寸中的0.20mil).

3、胶片在光绘前没有经过预置

由于胶片制造时无法预先控制胶片中的湿度与每个生产车间的湿度一致，因此使用之前应先使其与工作环境达到平衡的状况。建议预置时间为12小时，预置时必须打开胶片的内包装，使其与外界的空气充分接触。

4、冲片过程中烘干不足

在冲片过程中，底片因吸收水份而达到100%相对湿度而膨胀，当底片烘干时失去水份则开始收缩。在较为温和的烘干状况下例如吊干底片，当底片恢复室内原有的湿度时会发现底片较原有尺寸缩小，但如底片在冲片机经过高温底湿烘干后，在室内吸收水份而达到平衡状态，其尺寸则会较原有的尺寸膨大。

5、贴胶片保护膜

胶片在贴保护膜时，由于内应力的作用，在贴膜方向会10-20um以上的收缩(贴膜的张力不能太大，只要没有皱纹越小越好)，如果可以，只能在CAM时加补偿。

6、全自动曝光机器属于强力抽真空并且相对处于独立环境(高温低湿)，通常会造成收缩。

改善：可以将一个温湿度计放在机器内，测量与外界的偏差，根据这个偏差值和胶片的膨胀系数算出收缩的量，在CAM时给予补偿!

7、工作环境的一致性

在胶片的使用过程中，难免会发生胶片存放转移的情况，例如：从暗房把胶片送到内层、干膜、防焊等车间，我们必须确保这四个不同地方的温湿度的一致性!